パートナーズ
株式会社ケミトロニクス
http://www.chemitronics.co.jp/
半導体プロセスをはじめとするさまざまな装置開発の実績があり、チャレンジングな課題に共に取り組んでいただいております。 開発を通して、多くの装置が生み出されました。
株式会社メムス・コア
http://www.mems-core.com/about/company.html
知る人ぞ知る、MEMSデバイスの試作・開発会社です。設計・シミュレーション・プロトデバイス試作・量産までをトータルでサポートしており、多種多様なMEMSプロセスに対応いたします。
株式会社インターフェース
http://itfc-cot.jp/index.html
SiC, DLC, TiNなど様々なコーティングに対応しております。 CVDや高温熱処理炉の設計・開発にも実績があります。
株式会社 足立熱処理研究所
http://www.adachi-lab.co.jp/
真空焼き入れ等の熱処理のほか、CVDによるTiC,SiCコートに迅速に対応します。